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无线电
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2021年
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1.
基于石英的声表面波宽量程气压传感器研究
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李学玲
王文
范淑瑶
程利娜
高旭
胡梵冰
《压电与声光》
2021,43(4):435-438
该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在犢切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW 传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。
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