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基于不同单光子能量拉曼谱的氢化硅薄膜微观特性研究   总被引：2，自引：2，他引：0  
用等离子体增强化学汽相沉积法（PECVD）在玻璃和单晶硅（c-Si）衬底上分别制备了氢化纳米硅（nc-Si：H）和非晶硅（a-Si：H）薄膜,用紫外、可见和近红外3种不同波长的激光线对不同形态的Si薄膜进行拉曼散射实验研究。研究发现,这些Si薄膜在不同的单光子能量的激光线激发下的拉曼谱线形也不同。进而通过对Si薄膜材料...  相似文献   
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