TFT-LCD彩膜不良智能检修及新产线布局探究

为提高工厂自动化程度,节省人力,对TFT-LCD彩膜缺陷检出和修补智能化进行了研究。通过AOI&Mura检查设备自动判定智能化[6~7],Inline设备自动分片智能化,Repair设备自动修补智能化,三大智能化要素,实现设备自动判定,基板自动分级运营。以此为基础,探究未来新型智能化彩膜生产线设计,通过双通道设计,实现Online模式自动修补缺陷,微观宏观检测一体化,继而达到简化运营流程,异常快速发现,节约设备成本,提高运营效率,释放产能,提高Tact Time,人员优化和良率提升等目的。     

彩膜微观缺陷修补自动化实现和效率提升

为了提高设备智能化作业,节省人力,对彩色滤光膜微观缺陷自动化修补进行了研究。通过最小循环比对法,修补设备能实现自动查找缺陷、确认缺陷精确位置并自行选择研磨、激光或填色等修补作业方式的功能,替代人工角色。经统计,自动修补成功率为99.8%,与人工修补成功率99.9%接近,满足生产需求。8.5代线CF工厂自动化修补导入后,该岗位人员配置由20人降低为7人。进一步地,通过赋予检测设备给基板判级功能,使不需要修补的基板不进入修补设备,优化了基板流向和设备负荷。优化后,BM、RGB和PS修补工序平均修补一个卡夹的时间分别减少了24%、12%和6%,提升了修补效率。     

高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善

针对彩膜小尺寸高分辨率平板电脑产品的曝光基台色斑(Stage Mura)不良,对异常区域各项特性进行分析,发现Mura区域的黑矩阵(BM)的关键线宽(CD)和坡度角形貌与正常区存在异常。推测原因为曝光时,不良区域与正常区域曝光温度和曝光间隙存在差异,并进行试验验证。将曝光温度和曝光间隙进行调整试验后,使用扫描电子显微镜(SEM)分析黑矩阵关键线宽(BM CD)和坡度角,确认改善措施能减少正常区域和Mura区域BM CD和坡度角差异,不良发生率由7.2%降低为1.4%。进一步调整BM膜厚,从整体上弱化正常区域和Mura区域的透过率差异,最终基台色斑不良率降低至0.7%。     

一种适用于TFT LCD开机Mura改善的TP定向补正研究

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)和彩色滤光膜(Color Filter,CF)经过对盒工艺(Cell)制作而成。两类面板对盒过程中的相对偏移精度(Alighment Inspection,AI)是保障产品显示品质的重要指标,而AI由两类面板的曝光精度(Total Pitch,TP)共同决定。文章主要进行了CF TP与开机Mura不良的机理分析与改善研究。通过CF工艺制程对CF TP影响的深入分析和实验验证,设计得到了一种可定向补正的CF TP Design优化方法,可有效实现开机Mura不良的定点改善,不良率由9.17%降至0.10%以下。相对于传统补正方法,该方法具有定向性、快速性、准确性等优点,可推广运用于其他与CF TP对位精度有关的不良改善中。