6σ设计水平的评价

在介绍6σ设计概念和目标的基础上，给出设计水平与百万机会缺陷数(DPMO)关系的计算表达式和关系曲线，并开发了计算机模块，能自动计算与不同设计水平对应的DPMO值，也可以根据实际的DPMO值，自动评价达到的设计水平。     

非正态分布工艺参数工序能力指数分析

半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论. 因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.