曝光数据流优化问题的蒙特卡罗算法

集成工艺中控制图形发生器产生掩模图形的数据流文件的数据排列顺序优化,是一个其结点数可达数千个之多的大规模旅行商问题(从镜头架的位置,即每个矩形的矩心为结点),常规算法早已不适用。本文采用多阶段蒙特卡罗算法并加以改进,补充了“分层优化模式”,邻接结点的预合并和在各个阶段末提取共同子路径并删去相关结点等一系列逐步缩小问题规模的措施,形成了一个实用的优化算法。相应的软件已成功地应用于薄膜磁头的数据流文件的优化。     

静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性

当微谐振器的尺寸缩小到nm量级时其工作频率已达到MHz、GHz甚至更高,研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文详细分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模     

H型亚微米梁的混频特性测量

本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式:向下混频和向上混频.考察的H型梁长度分别为8μm、10μm、12μm和15μm,小激励下谐振频率分别为13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通过在梁上施加两路不同频率的静电激励信号,调整两信号频率差值及和值在梁的本振频率附近变化,经过梁的自适应过程实现信号混频,最后由多普勒测振仪检测梁的混频特性.实验结果表明梁在向下混频时的振幅随两路信号频率的平移而改变,出现所谓的窗口效应;对于这两种混频方式,混频分量越接近梁的本征频率,梁的振幅越大,反之梁振幅下降越多;在输入信号功率均设置为14 dBm时,对比向上混频,向下混频使得梁的振幅更大,诸如12μm长的梁向下混频时梁振幅为4.082 nm,而向上混频时混频处振幅仅为1.826 nm.     

顺丁烯二酸醉加氢合成γ-丁内酯催化剂的研究

研究了负载型钯及镍催化剂对于顺酐加氢生成γ-丁内酷的催化性能,考察了不同载体的影响。结果表明,钯催化剂的性能优于镍催化剂,在2.5%Pd/C上γ-丁内醋的收率为52.5%,180℃和5.05MPa氢压的反应条件有利于γ-丁内醋的生成。     

固体扫描长度计

详细介绍了固体扫描长度计的基本构成及工作原理。利用目前流行的固体扫描技术,采用CCD器件、激光位置检测器和计算机技术,提高了测量精度。并介绍了具体的应用示例。     

带有曝光时间自动控制的CCD带钢宽度测量仪

钢材白热化时的发光强度随其表面温度的变化,是以钢材本身发光为光源的CCD钢材尺寸热测法中一个突出的难点。本文介绍一种基于自适应算法的CCD 曝光时间自动控制器及相应的波形处理电路。该套电路在APPLE 计算机控制之下工作,测量精度达到±0.5mm。本文对于曝光时间自动控制原理、主要电路的结构和具体实现及软件的处理过程作了重点讨论,并简要介绍了软件的其它功能。