高压给水加器泄漏管板焊缝的修复

介绍了某发电厂两次修复高温加热器与管板焊缝的修复过程,包括所采用的工艺,出现的问题及修复的效果,并对问题产生的原因进行了分析。     

用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化

PDMS是制作微流控芯片的主要材料.PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具.SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具.本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、可多次使用等要求,研究了影响SU-8模具结构与基底材料硅片的黏附性和形成裂纹的因素,优化了SU-8微模具加工工艺,在以0.5℃/min进行升降温、210 mJ/cm2的曝光剂量、200℃条件下硬烘30min条件下得到较好的SU-8模具,提供了一种快速、复用性高、低成本的PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具的制作方法.     

高压给水加热器泄漏管板焊缝的修复

介绍了某发电厂两次修复高温加热器与管板焊缝的修复过程,包括所采用的工艺,出现的问题及修复的效果,并对问题产生的原因进行了分析。     

基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究

采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和"多次光刻、一次显影"工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题.利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分配和贮存.持续10ms的10kPa气压驱动下,该芯片可以在3.4mm×3.4mm的尼龙膜上制成5×5样品微阵列,25个点直径平均值为384μm,变异系数为2.6%.利用该芯片制成的DNA微阵列的信号强度变异系数达到4.5%,直径大小变异系数达到3.2%,符合生物微阵列分析的要求.     

一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用

生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征。同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法。     

基于MEMS微针技术的研究现状与展望

基于MEMS的微针技术研究是当前药物传输领域中的热点。随着微细加工技术的发展,微针技术及其应用得到了快速发展,除了向生物体内传输药物和向细胞内传输DNA外,还可以用来监测和反馈药物对生物体的影响及外源DNA在受体内的表达形式,同时在植入式器械方面也有所发展。本文综述了基于MEMS微针技术及应用的发展状况。     

焊接补漏的一些技术措施介绍与探讨

针对发电厂中经常出现的设备需在带有内压消除缺陷的情况， 经过试验分析， 制定出合理的补焊工艺。实践证明， 只要措施得当， 带压补焊的效果令人满意， 节省了资金， 赢得了时间， 使设备尽快恢复正常运行。     

基于MEMS的生物微喷点样技术研究现状与展望

基于MEMS的生物微喷点样技术研究是当今药物分配领域中的热点。与传统方法相比,微喷点样技术具有体积小、操作简便、速度快等优点。对近几年微喷点样技术的研究新进展进行了综述,按照驱动方式的不同对各种微喷点样技术进行了分类,并分别阐述了各自不同的制作方法,最后分析了MEMS微喷点样技术所面临的挑战和发展趋势。     

硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究

介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片。基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题。在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%。计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵列芯片的应用和发展。     

基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计

设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样。同时当微管道尺寸小于40μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础。