利用氟化气体和氧气的混和物进行SiC薄膜的反应离子刻蚀

本文研究了在ＳＦ６，ＣＢｒＦ３和ＣＨＦ３与氧相混合的几种氟化气体等离子体中，ＳｉＣ薄膜反应离子刻蚀（ＲＩＥ）的深度。通过监测射频等离子体的光发射谱及产生等离子体的直流偏压来研究刻蚀机理，为了更精确地定量分析刻蚀工艺，使用氩光能测定技术使等离子发射强度转换为相应的等离子物质浓度。为获得选择性的ＳｉＣ－Ｓｉ刻蚀及ＳｉＣ薄膜的各向异性图形，对等离子体条件，如气体混合物的构成，压力和功率进行了研究。首次采     

如何提高运行人员的事故处理能力

变电站发生的事故大致可分为两类:一是设备事故,二是外力破坏造成全系统或局部地区的停电事故。前者需要运行人员加强巡视,争取在第一时间发现设备缺陷并及时上报,后者则要考验运行人员的事故处理能力。如何才能提高运行人员的事故处理能力呢?笔者认为要从以下3个方面加强。1加强班组的技术培训工作班组的整体业务水平决定着处理突发性事故的能力。发生事故时,光靠一、两个人是不行的,需要每个值班人员都行动起来,相互配合、共同协作,才能迅速地处理好事故。如果业务不熟练,就无法提出自己的看法,又怎么能起到协助作用呢?这就需要班组在提高…     

融合自注意力的旅游电商智能推荐方法

为解决旅游电商推荐中细粒度捕获用户偏好,提出了基于自注意力机制并结合商品侧分类信息的序列推荐方法(SATMSRec).充分考虑序列间的时间间隔和序列的绝对位置作为自注意力机制的依托,对用户交互序列进行特征处理后,由一个GRU网络对特征序列进行长期记忆,最后结合商品侧层次性分类信息,构建类别感知多跳推理网络来学习补足用户...     

KB-2型带可编程控制器锅炉灭火保护装置的研制

介绍了以SYSMAC-C系列C28P可编程控制器研制的KB-Z型锅炉灭火保护装置在石嘴山发电厂#2和#8机组的应用情况,分析了其功能、结构和特点.     

变电运维一体化方案探讨

随着国家电网公司"三集五大"体系建设的不断深入,国家电网公司生变电(2012)180号文件提出在确保不影响电网安全生产的前提下选择基础条件好、人员配置高的变电站或检修班组进行试点,在总结经验和完善规章制度的基础上逐步推广实施运维一体化。在此基础上以银川供电局目前的现状对运维一体化实施的必要性进行了分析探讨。     

用于H2分离的致密金属膜的研究进展

重点介绍了金属钯膜和镍膜这两种最具代表性的致密金属H₂分离膜的分离特点和研究现状,对比分析了两种膜在高温H₂分离过程中各自的优劣,还阐述了致密金属膜反应器同步制氢和分离氢的概念和研究进展。对致密金属膜工业应用过程存在的问题和未来的优化发展方向进行了讨论和展望。     

110kV车载移动式变电站在银川电网应用的可行性研究

为解决银川市电网中的紧急情况及自然灾害、高负荷季节供电容量不足、电网初级分配、大型建设项目临时用电、维修现有变电站及电网建设项目审批发生延误等对供电的要求,特引入车载移动变电站,对车载移动变电站在银川电网实施的可行性方案进行探讨。     

GaAs DCFL超高速集成电路研究

直接耦合场效应逻辑（ＤＣＦＬ）具有简单的结构、良好的速度／功耗性能，是ＧａＡｓ ＦＥＴＬＳＩ电路中一种重要的逻辑形式。传统Ｅ／Ｄ型ＤＣＦＬ电路具有较低的成品率和较差的温度特性，本文研究了改进的Ｅ／Ｅ型ＤＣＦＬ电路。对Ｅ／Ｄ、Ｅ／Ｅ型ＤＣＦＬ电路的直流、瞬态及温度特性进行了分析、模拟和比较，Ｅ／Ｅ逻辑具有良好的高温性能。经优化设计，最后制作出单门延迟的１００ｐｓ、单门功耗的１ｍＷ的Ｅ／Ｄ和Ｅ／Ｅ型Ｄ