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过去，人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能令人满意。因此，干式真空泵应运而生。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为 相似文献
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