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利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4+O2的辐射谱、谱线成分及强度,分析了谱线强度与射频福射功率、氧气含量的关系,并与没有磁场存在时的情况作了比较。 相似文献
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连续金属薄膜的电阻率研究 总被引:7,自引:0,他引:7
运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运,考虑了来自表面和晶粒间界的散射,计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了F-S理论在较薄厚度时电阻率理论与实验结果不相符的缺陷。 相似文献
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利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4+O2的辐射谱、谱线成分及强度,分析了谱线强度与射频辐射功率、氧气含量的关系,并与没有磁场存在时的情况作了比较。 相似文献
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运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运 ,考虑了来自表面和晶粒间界的散射 ,计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了F S理论在较薄厚度时电阻率理论结果与实验结果不相符的缺陷。 相似文献
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