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一、液态三氯氧磷和陶瓷片状磷源比较 三氯氧磷在600℃以上将发生如下反应 生成的五氯化磷和氧气与硅在高温下生成二氧化硅和磷原子。 从上面反应可以看出,如果三氯氧磷热分解时,没有外来的氧参与,则分解是不充分的,生成的五氯化磷是不易分解的,并对硅有腐蚀作用,破坏硅的表面状态。但在有外来氧气存在的情况下,五氯化磷会进一步分解成五氧化二磷并放出氯气。 相似文献
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对电路生产来说,不能单凭工艺手段来保证成品率和参数水平,我们认为光刻版的质量好坏、设计的合理与否也是左右这两方面的重要因素。一个版面设计合理图形完好的光刻版会大幅度地提高管芯成品率和高档电路比例。 相似文献
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我们认为3DK4管大电流性能主要决定于几何结构设计、材料制备和一些主要工艺的选取(包括工艺参数的选择)。 一、几何结构设计 在3DK4的结构上没有什么奥妙的地方,主要一点是要有一定的电流容量,并有相当的余量。我们采用了几种结构图形: 1) 三条发射极,每条尺寸为30×150微米~2; 2) 五条发射极,每条尺寸为30×150微米~2; 3) 七条发射极,每条尺寸为30×200微米~2; 4) 十条发射极,每条尺寸为30×150微米~2。 在选取结构图形方面,我们有教训:71年开始生产3DG12、3DK4选取了五条发射极结构,这样在成品测试时如用3DC12条件(V_C=10伏,I_C=50毫安),h_(FE)可达100、300甚至上千,而改用30DK4条件(V_C=1伏,I_C=500毫安),h_(FE)只有10、20、30,30以上者甚少。于是有相当一部分管子,其它参数合格,但h_(FE)按3DC12条件太大,按 相似文献
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