The growth of carbon nanotube with chemical vapor deposition under different process parameters

Whether the active catalytic species are in a liquid,solid phase,surface premelting or surface processes during CNT or other nanowire growth are controversial.In order to explore the mechanism for catalytically grown carbon nanotube (CNT),the mechanism for CNT grown under different temperatures was proposed tentatively.With ethanol chemical vapor deposition (CVD),carbon n.anotubes (CNTs) were synthesized controllably on Si substrates using cobalt (Co) as a catalyst.The effects of the Co particle size,growth...     

纳米压印工艺中关键技术

纳米压印技术由于其分辨率高、工艺成本低以及适于大规模工业化生产的优点被广泛利用于纳米尺度的半导体器件的制作之中。然而,传统的硬模板压印技术存在着模板寿命短、大面积均匀性差以及易受颗粒影响的缺点。本文提出了一种高分子聚合物软模板（IPS）压印的方法来改进以上缺点,同时,本文提出在软模板制作和后续的紫外压印中采用变温变压阶梯升降压的方法来提高压印过程中胶的流动性,以提高压印图形的质量。最后,我们利用这种方法方法出了高质量的50纳米线宽的光栅图形。     

湍流大气对无线光通信影响分析及解决方案

分析了湍流大气光传输特性,讨论了光信号闪烁对宽带光无线通信误码率的影响及解决方案。从湍流大气的经典功率谱模型与修正功率谱模型出发,分析了Rytov指数与光场波长的变化关系,讨论了其对传输光场强度起伏的影响,以及分别在球面波与平面波时的差异。从实验上模拟考察了湍流大气对宽带光通信的影响,提出了一种新的从光链路上矫正波前畸变、减弱信号闪烁进而降低通信系统误码率的技术方案。该方案基于遗传算法和无模型盲优化的方式,以Zernike多项式系数为向量,对波前畸变进行编码,根据畸变波前的Zernike多项式的系数实现波前重构。其特点是没有预先测量波前相位畸变信息,而是采用施特列耳比作为遗传算法的适应度评判标准,通过优化达到最佳的波前畸变补偿效果。分析结果表明,该方案对中等强度以下的湍流大气光传输具有明显改善效果。     

氮化铝薄膜及其掺锰的光致发光

用射频磁控反应溅射的方法,以Ａｌ及Ａｌ＋ＭｎＦ２为靶材,石英玻璃为衬底,在不同的射频功率下,制备了ＡｌＮ多晶态徘晶态两类薄膜。发现非晶态吸收峰位置较多晶态薄膜向短波移动２０ｎｍ,对于非晶态薄膜,通过喇曼光谱的分析,得到了ＡｌＮ薄膜的特征声子能量的信息。首次用金属Ａｌ和块状ＭｎＦ２共溅射的方法,制备了ＡｌＮ：ＭｎＦ２薄膜,在退火后的多晶态样品中,测得了Ｍｎ的特征光致发光。     

集成化高速APD的研究进展

理论分析了降低雪崩光电二极管(APD)噪声、提高其增益及带宽的一般方法。面向APD综合响应度与带宽之间存在的固有矛盾问题,提出了采用三维纳米化技术降低APD的噪声,以及采用集成光学技术提高APD的响应度的解决方案。在此基础上,从表面等离基元聚光结构与垂直光入射型APD的混合集成、超透镜与垂直光入射型APD的混合集成,以及阵列波导光栅(AWG)与光侧入射倏逝波耦合波导(EC)APD的单片集成等三个方面,综述了集成化高速APD的研究进展,对该领域的发展趋势进行了展望。