大型单晶炉炉内压力的控制研究

随着晶体生长理论和生长技术的发展，各种高纯度的晶体已经生产出来，这给晶体管的研制创造了便利条件，同时，也对生长设备的要求提出更加严格的要求。论述单晶炉炉内压力的控制；通过调节比例阀的开度起到改变抽气的速率；从而达到调节炉内压力的目的；实现了理想的压力控制。