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采用球面复合棱镜的指纹仪的红外光学系统设计 总被引：1，自引：0，他引：1
减小或校正光学式指纹采集仪的梯形投影畸,对提高指纹采集系统的采集和识别精度非常重要,采用球面复合棱镜的采集棱镜方案,简化了光学式指纹采集仪的光学系统,提出了几种减小或矫正指纹采集仪梯形投影畸变的红外光学系统设计方案,并对各种方案可能实现的设计结果进行了研究. 相似文献
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TFT 5次光刻背沟道刻蚀型与保护型工艺 总被引：2，自引：1，他引：1
5次光刻工艺(简称5PEP)是一种新的研究,分为背沟道刻蚀型和背沟道保护型.5PEP改变了TFT结构和原理,相对于常用的7 PEP可缩短生产周期,减少使用设备,提升成品率,降低成本.研究制定了背沟道刻蚀型与背沟道保护型5PEP的主要工序步骤,并通过50.8 mm液晶屏多次小批量投产进行试验.探讨了刻蚀型5PEP中a-Si岛刻蚀不良、SiNx刻蚀跨断等问题.取得合理的工艺参数,使5PEP能应用于小尺寸液晶屏的TFT量产. 相似文献
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