利用阳极氧化法对SAW换能器作可靠的频率微调

利用氧等离子体作阳极氧化处理大大提高了 SAW 换能器的可靠性。使得防腐蚀层抗酸腐蚀增加了一个数量级.本文将叙述阳极氧化谐振器的频率微调,及阳极氧化延迟线的相位一频率特性曲线.     

掠面体波高频极窄带滤波器

自1977年以来,英国Lewis等人,美国Kagiwada小组等相继发表文章阐述了掠面体波(简称 SSBW)及其器件.作为一类新型器件,SSBW 引起了人们的极大兴趣.它具有表面渡和体波二者兼有的优点,在高频高稳定窄带滤波器和振荡器的应用中尤为突出.与 SAW 相比,SSBW 的优点简列于下:①SSBW 的相速度高于 SAW,在石英中约高1.6倍,因而在相同工艺条件下器件制造频率的上限可以提高.②SSBW 具有更优良的温度系数,对于窄带滤波器提供了高稳定度的可能性。③SSBW 器件易实现预先给定的幅频特性及相频特性.又由于激发SSBW时所激发的其它杂波少,故杂波干扰小;因而可提高器件性能.④SSBW 在晶体内传播,对表面污染较不敏感,因而较易解决器件工程应用中的封装和老化问题.利用 SSBW 的这些优点,用普通照相平面工艺,实现了基频中心频率为320—350M,相对带宽≤0.4%的10种高频窄带滤波器.本文分析了 SSBW 器件的基本特性与滤波器应用中的一些考虑和实验,叙述了抽指加权设计,并给出了器件实验结果,滤波器带外抑制可达55分贝以上.     

声表面波滤波器的中心频率微调法

为使声表面波滤波器应用领域更加广泛,需要解决下面两个问题;(i)频率可以微调。(ii)具有良好的温度特性等。本报告中,为了同时解决上述两个问题,取通用的石英 ST 切割基片为例,对声表面波相位速度和频率温度特性跟切割角度、面内旋转角以及构成换能器的电极膜之间的关系,进行了理论与实验方面的详细探讨。结果表明,相(?)速度与面内旋转角的平方成正比例地增加。因此,我们将声表面波的传播方向偏离 X轴修正±4°左右,修正后并不破坏它的温度特性,还可以在 1000PPm 范围内进行频率调整。此外,由于电极膜的负载效应,使相位速度减小以及频率温度特性的拐点温度朝低温端移动。综上所述,我们可获得既考虑了石英基片的切割角和旋转角,同时还考虑了电极膜影响的声表面波滤波器的设计参数。