氧化剂在TSV铜膜CMP中钝化机理北大核心

为实现TSV硅衬底表面铜去除速率的优化,对影响TSV铜去除速率的最主要因素抛光液组分(如磨料、螯合剂、活性剂和氧化剂)中的氧化剂进行分析。通过对不同体积分数的氧化剂电化学实验进行钝化机理的研究,从而得到最佳的氧化剂体积分数,再进行铜的静态腐蚀实验和抛光实验对铜的去除速率进行验证。实验结果表明,氧化剂体积分数为0.5%时铜具有较高的去除速率,能够满足工业需要。最后,对CMP过程机理和钝化机理进行分析,进一步验证了氧化剂在TSV铜化学机械平坦化中的作用。     

三问物业管理纠纷

物业纠纷主要集中在哪些方面?造成物业纠纷突出的原因何在?面对诸多纠纷,物业服务企业该怎么办?物业管理从上世纪80年代起步至今,走过近30载历程。随着城市化进程的加快,市场化的专业物业管理走进千家万户,与广大民众的生活息息相关。国家《物业管     

一种对铜抛光后去除苯并三氮唑的新型清洗剂的研究

在化学机械平坦化(CMP)后,铜表面会残留一些颗粒污染(如二氧化硅)和有机物(如苯并三氮唑),这些杂质都会对集成电路造成很大的危害,因此CMP后清洗是必比不可少的过程。尤其是苯并三唑(BTA),它会和铜在其表面生成一层致密的Cu-BTA膜,使铜的表面疏水。这就要求有一种可以有效去除铜表面BTA的清洗剂。本次研究中提出的新型复合清洗剂主要来解决两个问题：一个是BTA的去除问题,另一个是清洗液对铜表面腐蚀的问题。清洗剂的主要成分有两种,一种是FA / OⅡ型碱性螯合剂,它主要用来去除BTA,另一种是FA / O I型表面活性剂,它主要用来解决铜表面的腐蚀问题。通过接触角和电化学的手段来表征BTA的去除情况。表面活性剂的抗腐蚀能力主要通过电化学实验来反映。本文提出的复合清洗剂在不腐蚀铜表面的前提下对于BTA的去除很有优势。关键词： 去除苯并三氮唑;碱性螯合剂;表面活性剂; 腐蚀抑制剂     

汽车国六碳罐全新开发流程

基于最新国六排放法规的颁布,当前无法开发出满足其法规要求的碳罐。研究了碳粉及碳罐的化学性能及物理性能,为满足国六排放法规建立了一套全新的碳罐开发流程,为开发国六碳罐提供了指导。     

烟风道加固肋组合截面特性计算

文章通过分析加固肋选型计算公式,提出烟风道加固肋选型所必需的组合加固肋截面特性(G、I、Zmin)的计算公式,以供烟风道加固肋优化选型设计时参考.     

一种有效解决Cu CMP后残留二氧化硅颗粒的清洗液

摘要：在本文中提出了一种新型有效去除二氧化硅颗粒的FA/O清洗液,其主要成分包括FA/OII型螯合剂和FA/O型活性剂。这种清洗液能够同时去除以物理和化学吸附在晶圆表面的硅溶胶颗粒。 在本文实验过程中通过改变螯合剂和活性剂的浓度, 得出最佳清洗浓度。并且,讨论了这种FA/O碱性清洗剂去除硅溶胶颗粒的机理。根据实验结果可知,FA/OII型螯合剂和活性剂都能够有效去除硅溶胶颗粒。当FA/OII型螯合剂和FA/O活性剂达到最佳配比时,这种新型清洗液能够有效去除硅溶胶颗粒。     

三问物业管理纠纷

<正>物业纠纷主要集中在哪些方面?造成物业纠纷突出的原因何在?面对诸多纠纷,物业服务企业该怎么办?物业管理从上世纪80年代起步至今,走过近30载历程。随着城市化进程的加快,市场化的专业物业管理走进千家万户,与广大民众的生活息息相关。国家《物业管     

非物质文化遗产保护视角下湘西北地区少数民族民俗体育文化资源开发

湘西是一个拥有30个少数民族的少数民族聚居区，物产丰富，历史文化源远流长，各民族的分布构成了其独特的地域和人文景观。湘西自开展旅游扶贫工作后，当地的旅游业迅速发展起来。湘西民间运动与旅游业的深度结合是一种高层次的文化旅游。要求将民俗体育文化资源进行开发，充分挖掘民俗体育文化资源，为建设湘西的和谐做出贡献，构建民族文化体育旅游的“和谐”是一项十分重要的任务。