基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。     

基于DDK的USB接口WDM驱动开发

USB以其诸多优点已被广泛用于PC接口设计,由此开发了基于USB的光刻机对准系统。与传统对准系统相比,新系统的稳定性大幅提高,同时成本显著降低。但USB设备驱动程序的开发是系统的关键和难点。以WDM的结构和USB通信模型为基础,结合图示详细介绍了与USB的WDM驱动开发相关的几个关键数据结构及其相互关系,并对开发过程中的疑难问题进行了深入分析,结合实际系统详细地介绍了驱动开发的整个流程及其相关注意事项。系统运行结果表明所开发的驱动程序满足系统需求。     

基于机器视觉的套印误差检测

本文先介绍了套印误差的概念,并在阐述基于机器视觉的套印误差检测的基本原理以及技术难点的基础上,介绍了快速模板匹配算法的原理和实现,最终完成套印误差的智能检测。     

基于DDK的USB接口WDM驱动开发

USB以其诸多优点已被广泛用于PC接口设计,由此开发了基于USB的光刻机对准系统.与传统对准系统相比,新系统的稳定性大幅提高,同时成本显著降低.但USB 设备驱动程序的开发是系统的关键和难点.以WDM的结构和USB通信模型为基础,结合图示详细介绍了与USB的WDM驱动开发相关的几个关键数据结构及其相互关系,并对开发过程中的疑难问题进行了深入分析,结合实际系统详细地介绍了驱动开发的整个流程及其相关注意事项.系统运行结果表明所开发的驱动程序满足系统需求.