长光栅线位移数字测量系统

<正> 中科院光电技术研究所为满足我国机电一体化和传统机床改造的需要,先后开发了SX-5和SX-6两个系列长光栅线位移数字测量系统。该系统由长光栅线位移传感器和光栅数显表组成。主要技术数据:光栅:25线/mm和50线/mm,精度:±2μm/m;标尺光栅同指示光栅间采用滚动摩擦,回程差:<2μm;工作速度:60m/min;输出讯号双路正弦波或方波任选。数显表的最小分辨率:0.5μm,具有细分预置,D/R和mm/in转换,线性误差修正功     

高级消象差珠宝放大镜等系列产品成为畅销货

<正> 将研究所推向市场,为国民经济和商品经济服务,已成为光学领域研究所的生存和发展的关键。中科院光电技术所光学元件厂瞄准市场需求,近几年开发出高级消象差珠宝放大镜、显微/望远两用镜、笔式显微镜、宝石显微镜等11个系列近60个品种的新产品,现已在国内外市场成为畅销货,去年销售额达207万元。上述产品在广交会及美国珠宝展销会上倍受青睐。其中尤以高级消象差珠宝放大镜系列     

JK-1型半自动接近式光刻机研制报告

目录前言一、研制技术要求二、整机概况三、主要部分技术性能 (一) 曝光系统 1.多点尤源照明系统 2.照明均匀性     

美国大规模集成电路用光学设备(出国参观考察报告)

前言中国科学院“大规模集成电路工艺、材料和设备考察团”于1979年5月21日至6月18日到美国参观考察,历时28天。考察团先后参观了美国西部和东部微电子学的工艺企业、大型计算机制造公司和集成电路光机设备厂比较集中的四个地区,即旧金山市海湾区、洛杉矶、纽约、波士顿等地。参观了每年五月在旧金山地区举办的美国西部半导体     

CVD金刚石（膜）制备技术及应用进展

化学气相沉积（CVD）方法是金刚石（膜）制备的主流技术,经过多年的发展,已从最初的微米金刚石膜发展到纳米金刚石膜,至目前高质量的单晶金刚石,应用领域不断扩展。除了工业和民用领域外,纳米金刚石膜在MEMS／NEMs、生物医学的应用进展引起业界关注,其中大尺寸单晶金刚石的制备是推动这些应用的关键。本文分析了MPCVD金刚石成膜特点,讨论了现阶段CVD金刚石膜商业化推广应用的制约因素,展望了今后金刚石膜的发展前景。     

表面等离子体共振技术在生化检测中的研究进展

利用表面等离子共振（SPR）技术进行生物化学分析和检测,具有前处理简单、无需标记、灵敏度高以及实时、连续监测动态反应过程等特点。本文介绍了表面等离子共振传感器的基本类型和结构,论述了SPR在水质、农药残留以及有毒气体等物质检测上的研究进展,并对SPR传感器的未来发展趋势进行展望。     

热轧无缝钢管外径在线测量仪

<正> 受成都无缝钢管厂委托,由中科院光电技术所研制成功的热轧无缝钢管外径在线测量仪,于不久前交付用户验收使用。由于轨钢车间现场环境十分恶劣,处于高温、高湿、振动、噪声以及光电干扰的严重影响。为此采取了一系列有效的技术措施,如成功地采用4片CCD电荷耦合器件实现x-y双座标动态管径的测量和与轧机闭环自动控制等。该仪器可测热轧钢管直径φ102～φ300mm,具有双路模拟信号输出功能;测量精度为±0.1mm(均方根差);并可实时给出钢管的椭圆     

SJB-1型扫描式激光标记机

<正> 中国科学院光电技术研究所承担的SJB-1型扫描式激光标记机,不久前研制成功并通过技术鉴定。该机为与哈尔滨轴承厂合作推广应用项目,已列入哈轴厂1992年重大技术改造计划。现已完成工艺软件试验,预计可在全国六百家大中型轴承企业推广,将需配套近千台。激光标记机采用Nd:YAG固定激光器作光源,经光学系统聚焦,以极高功率密度照射     

中科院光电所研制的DSW投影光刻机通过中科院评议

<正> 我国在DSW投影光刻机研制中,一台后起之秀在中科院光电技术研究所(成都)脱颖而出。1990年3月12～13日在成都由中国科学院召开该机研制评议会。邀请了国家科委、机械电子部、丰德公司、清华、浙大、中科院有关领导及几个研究所和一些企业的26个单位46名同行专家参加。 评议委员会认真审查了光电所的样机研制报告,上海冶金所代表作的样机工艺试验报告和评议检测组作的检测报告,对该样机研制阶段的成果给予较高评价。