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本文应用微电子制板和离子刻蚀技术,研制成功凹槽光栅结构接近可见光波长的一组矩形光栅,进行了衍射特性与刻蚀周期,深度关系的实验,得到了与矢量藕合波理论计算一致的结果。 相似文献
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