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柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究 总被引:5,自引:0,他引:5
室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropylene adipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜。其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究。 相似文献
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薄膜厚度对ZnO:Al透明导电膜性能的影响 总被引:12,自引:4,他引:8
铝掺杂的氧化锌 (ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底 (Polypro pyleneadipate,PPA)和Corning 70 5 9玻璃上制备的。详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。制备的ZnO∶Al薄膜具有 (0 0 2 )面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构 ,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为 2 .5 5× 1 0 - 3 Ω·cm和1 .89× 1 0 - 3 Ω·cm ,平均透射率达到了 80 %和 85 %。 相似文献
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有机衬底SnO_2∶Sb透明导电膜的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
采用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备出 Sn O2 ∶ Sb透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究 .制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构 .Sn O2 ∶ Sb薄膜中 Sb2 O3的最佳掺杂比例为 6 % .适当调节制备参数 ,可以获得在可见光范围内平均透过率大于 85 %的有机衬底 Sn O2 ∶ Sb透明导电薄膜 ,其电阻率~ 3.7e- 3Ω· cm ,载流子浓度~ 1.5 5e2 0 cm- 3,霍耳迁移率~ 13cm2 /( V · s ) 相似文献