a-Si:H和a-SiN:H薄膜的质子核磁共振研究

<正> 由辉光放电分解硅烷淀积的氢化非晶态薄膜中都包含相当数量的氢,含氢量的多少直接对薄膜的结构、性质及稳定性有很大的影响。利用核磁共振(1H NMR)可以给出有关氢的局部环境和分布的信息。它与通常所用的红外、ESR、核共振等方法所获得的信息是不同的,因此1H NMR在材料结构分析方面是有其特色的。