硅衬底超精密CMP中抛光液的研究

针对硅衬底的化学机械抛光,采用自制的大粒径硅溶胶抛光液进行抛光实验,研究了抛光液中主要组分对抛光速率和表面平整度的影响,以提高抛光速率和抛光质量,采用测厚仪、AFM、台阶仪对抛光速率和表面进行了测试和表征.通过优化实验获得了高速率、高平整的抛光表面.去除速率(MRR)达697nm/min,表面粗糙度(RMS)降低至0.4516nm,在提高抛光速率的同时对硅片实现了超精密抛光.     

硅晶片双面超精密化学机械抛光

为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒径二氧化硅胶体磨料配制了SIMIT8030-Ⅰ型新型纳米抛光液,在双垫双抛机台上进行抛光实验.抛光液、抛光前后厚度、平坦性能及粗糙度通过SEM、ADE-9520型晶片表面测试仪、AFM进行了表征.结果表明:与进口抛光液Nalco2350相比,SIMIT8030-Ⅰ型抛光液不仅提高抛光速率40%(14μm/h vs 10μm/h);而且表面平坦性TTV和TIR得到改善;表面粗糙度由0.4728nm降至0.2874nm,即提高抛光速率同时显著改善了抛光表面平坦性和粗糙度.     

5G的信号波形

本文介绍了5G采用的多载波波形,包括正交频分多路复用(OFDM),滤波器组多载波(FBMC),通用滤波器多载波(UFMC)和广义频分复用(GFDM),说明其基本原理和优缺点,以及在增强移动宽带(e MMB)、海量机器型通信(m MTC)和超可靠低时延(URLLC)通信中的应用。     

3GPP关于5G若干技术规范辑录(四)：基站射频设备规范

本讲座摘录简介了3GPP业已定型的5G基站射频设备规范。     

3GPP关于5G若干技术规范摘录(二):NG-RAN总体架构(Ⅱ)

在本讲座中,节录了3GPP关于5G无线接入网(NG-RAN)的总体架构,包括NG、Xn和F1接口以及它们与无线接口之间的交互。     

光在宫颈组织中传输特性的蒙特卡罗模拟

为研究可见近红外光谱在宫颈组织中的光子传输情况,根据宫颈组织的结构,构建双层宫颈组织模型,利用蒙特卡罗方法模拟可见光(500nm左右)和近红外光(810nm左右)在宫颈组织中的光分布,研究宫颈正常组织和高级病变组织中漫反射率、吸收能量密度、光能流率的变化的差异。结果表明：宫颈正常组织表面漫反射率大于高级病变组织;在上皮层中宫颈正常组织光吸收能量密度大于高级病变组织,基质层宫颈正常组织光吸收能量密度小于高级病变组织;宫颈正常组织的光能流率大于高级病变组织,与可见光相比,近红外光在宫颈组织中的分布范围更大、探测深度更深。为使用可见近红外光谱技术进行宫颈癌前病变诊断提供了一定的理论基础。     

方钢管柱-H型钢梁T形件单向螺栓连接节点性能研究

研究了在循环荷载作用下,一种新型的方钢管柱-H型钢梁T形件单向螺栓连接节点的破坏模式,以及构件对节点性能的影响。建立了节点的三维非线性有限元模型,以全尺寸梁柱连接节点拟静力试验数据进行了验证。通过参数分析,探讨了柱壁厚度、梁翼缘厚度和腹板削弱程度对新型节点的滞回曲线、骨架曲线、耗能等性能指标的影响。结果表明:循环荷载作用下新型节点滞回曲线呈"梭形"且较饱满,不同参数的节点均具有良好的耗能能力。通过增加柱壁厚度,节点的极限承载力和初始转动刚度增加。但柱壁厚度超过14mm时,单向螺栓和T形件成为节点失效的控制因素;梁不是这种新型节点的薄弱部位,对梁翼缘和腹板进行合理开孔削弱,节点的滞回性能、极限承载、刚度和耗能能力均无显著降低。     

5G中的编码调制与多址技术

本节讲座介绍了5G通信中的载波调制和编码技术,包括二相相移键控、四相相移键控、正交振幅调制,低密度奇偶校验码和极化码等,多址技术包括正交多址和非正交多址,说明其基本原理和特点及应用场合。     

5G中的编码调制与多址技术(续)

文章介绍了5G通信中的载波调制和编码技术,包括二相相移键控、四相相移键控、正交振幅调制,低密度奇偶校验码和极化码等,多址技术包括正交多址和非正交多址,说明其基本原理和特点及应用场合。     

用于地形跟踪回避的一种最佳路径算法

提出了一套用于数字地形图中求取最佳路径的算法。算法的核心是改进的动态规划算法,同时还用到图像和图形处理中的一些算法,如图像的膨胀,图形的扫描线转换。分析了算法的计算复杂度,包括时间和空间复杂度。该算法的适应性和稳定性较好,在大多数的情况下能给出符合实际的结果算法还加入了最大爬升角和最小转弯半径这两个飞机机动参数。作为一套完整的考虑飞机机动参数的算法,具有高效稳定和符合实际的特点。