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p-GaN栅沟槽侧壁与AlGaN表面特性直接影响栅注入(GIT)型AlGaN/GaN HEMT器件的输出特性及击穿特性.对比研究了两种刻蚀气体(SF6/BCl3和Cl2/N2/O2)及不同的刻蚀掩膜层(SiO2,Si3N4和光刻胶)对AlGaN上p-GaN的选择性刻蚀结果,利用原子力显微镜(AFM)对刻蚀沟槽的表面形貌进行表征,并通过I-V测试其电学性能.结果显示,以Cl2/N2/O2为刻蚀气体,且体积流量为18,10和2 cm3/min时,p-GaN刻蚀速率稳定且与AlGaN的刻蚀选择比较高(约30),并且可使p-GaN刻蚀自动停止在AlGaN界面处.此外,以Si3N4作为刻蚀掩膜,可以获得表面光滑、无微沟槽且侧壁垂直度较好的沟槽结构.采用上述刻蚀工艺制备的GIT结构器件的漏端关态电流相比肖特基栅降低约2个量级,阈值电压约为0.61 V,峰值跨导为36 mS/mm. 相似文献
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本文概述了房产测绘和地理信息系统,阐述了房产管理中引入GIS的意义,通过房产测绘数据管理的主要内容和解决思路,提出一种基于GIS技术的房产测绘数据管理系统的解决思路,从而极大促进了房产测绘的自动化。 相似文献
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本文概述了房产测绘和地理信息系统,阐述了房产管理中引入 GIS 的意义,通过房产测绘数据管理的主要内容和解决思路,提出一种基于 GIS 技术的房产测绘数据管理系统的解决思路,从而极大促进了房产测绘的自动化 相似文献
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美国Reilly工业公司新近开发出一种低毒、低挥发性管道用耐高温环氧 -煤焦油瓷漆复合涂层“EP - 1 0” ,其附着力及抗阴极剥离能力都很强 ,且具有极佳的长期防水性及低温不脆等性能。 相似文献
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研究目标是设计出一款自主识别赛道、扫拖一体的智能联网清洁小车。项目的主要内容包括小车智能控制系统与图像识别系统,该系统以MM32F3277G9P核心板作为控制核心,采用二值化摄像头进行路径信息采集,并用PID算法和记忆算法实现路径最优,利用小车前后端安装扫把和拖把用于赛道地面的清洁消毒。该项目使用ESP32-S3 CAM进行无线通讯,小车基于百度智能云对物品进行识别,反馈扫入物品图像于网页。在任务结束后,小车可自行返回充电处无线充电。最终使小车实现自动循迹和图像识别反馈功能,完成清洁任务。 相似文献
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FPSO对开发边际油田的商业价值 总被引:5,自引:1,他引:4
针对边际油田的开发了介绍了FPSO技术,从建造应用和经济上与固定平台进行了分析比较,并展望了FPSO的发展趋势。 相似文献
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