In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y)/InP异质结的X射线衍射研究

本文采用X射线衍射方法测定了在(001)取向的InP衬底上,用LPE法生长的InGaAsP外延层晶格完整性和应变状态,给出了InGaAsP/InP异质结X射线回摆曲线测量方法和测量结果,提出了用普通X射线衍射仪测量外延层晶格失配在实验方法上的改进,从而提供了在没有双晶衍射仪情况下,测量外延层晶格失配的可行途径。