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对TFT-LCD器件氧化铟锡(ITO)层无退火新工艺进行了深入研究,通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行,简化了工艺过程,节约了生产成本。采用无退火工艺氧化铟锡膜层的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火工艺下基本相同,可以实现低的电阻值和高的透过率。无退火工艺下PI膜表面平整均匀,氧化铟锡膜与PI膜界面结合良好,无鼓包、麻点等,也没有反应产物生成;经过TFT特性测试发现,无退火工艺比高温退火工艺条件下,无论暗态还是光照状态,开电流没有明显区别,漏电流可降低44%;通过无退火工艺和传统高温退火工艺制备的液晶显示屏的V-T特性相同。 相似文献
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钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究 总被引:2,自引:2,他引:0
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20%~30%的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质。 相似文献
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环氧树脂固化的动力学和计算机模化G.J.BuittandA.J.Haggeretal引言当今化学界令人著目的一个趋势是应用计算机协助化学家处理用传统方法难以解决的问题.一个重要的例子是应用计算机程序取代传统的化学分析方法,因为传统的分析方法不能使所得... 相似文献
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我国自1983年引进稻草板生产线并投产以来,各地兴建了许多采用稻草板建造的房屋,为建筑业提供了一条新的途径。但目前就其结构体系设计而言,尚无定论和相应的构造措施,有关规范也未制定。本文试就其结构体系及构造设计问题提出若干浅见,供参考。 相似文献
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