高稳定度电子束透镜系统电源的研制技术综述

本文介绍了为我室新型电子束主机研制的高稳定度透镜系统电源。该透镜系统电源在关键技术的处理上,采用了精密稳压管零温度系数工作电流的检测方法、研制出温度互补的基准电压发生器,使用了高增益、低漂移的运算放大器功能块,并应用热管技术研制出精密取样电阻器及整机采用了屏蔽浮地措施等,使该透镜系统电源取得了较高的技术指标,特别是系统的Ⅲ物镜电源的长时间稳定度达到7×10~(-6)/8小时的指标。 该系统电源的长时间稳定度指标优于英国剑桥科仪公司1981年研制的EBMF—6.5型电子束机的物镜电源指标。     

电子束曝光机磁复合偏转系统的研究

本文在 E.Munro,H Ohiwa 等人工作的基础上,从电子束在磁复合偏转系统中的运动轨迹入手研究了象差与电子束主轨迹的关系,提出了一阶近似的“摆动物镜”(Sw-inging Objective Lens)“SOL”的概念。进而分析了最佳轨迹的结构和获得方法,解释了 Munro 提出的改进透镜前双偏转系统抑制象差的原理。最后利用研制的“权复形”优化方法进行最优化处理。计算结果表明:在0.005弧度半张角,高压波动0.0001,象距50mm 的条件下,在5×5mm 扫描场的边角处,动态校正前的总象差斑为0.083μm。     

用于电子束曝光机中的“摆动物镜”(SOL)

本文讨论了复合磁透镜和磁偏转器场中,电子束主轨迹和偏转像差之间的关系。为了改善电子束扫描系统的性能,本文提出了一阶近似的电磁摆动物镜(Swinging Objective Lens)(SOL),给出了摆动物镜的像差系数。本文讨论了建立在摆动物镜基础上的适用于电子束曝光机的实际扫描系统。为了减小系统的总像差,结合电子光学的条件,采用了“权复形”最优化方法,得到了实际的复合结构;在0.005弧度半张角、高压波动0.0001、象距50mm的条件下,在5×5mm~2扫描场的边角处,动态校正前的总像差斑为0.083 μm。