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针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10-1~10-4 Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000~5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%~4.4%。 相似文献
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采用有限元分析软件建立了82B大方钢坯凝固传热分析有限元模型,建立了满足现场工艺和设备条件下的凝固传热数学模型,分析了直角坯与倒角坯在凝固过程中的温度场分布情况。结果表明,采用倒角结晶器生产的大方坯,其角部温度在出结晶器后比直角坯高62℃,出二冷区后比直角坯高35℃,空冷结束后比直角坯高43℃,较高的角部温度避开了钢材的第Ⅲ脆性区间,使铸坯在矫直段角部裂纹的发生率降低,且对后续的轧制过程同样有利。在生产中,倒角坯最佳的倒角形状是倒角为35°,倒角面长度为50mm。 相似文献
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微影工艺技术在IC制造中一直扮演着举足轻重的角色,随着IC产品技术需求的提升,微影技术也需不断地提高分辨率以制作更微小的特征尺寸(feature size). 相似文献
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介质响应测试技术作为一种无损测试方法,被广泛应用于电介质绝缘材料的绝缘性能参数测量及状态评估中。传统的频域介质响应测试采用标准正弦波电压作为激励,以扫频方式完成高频到低频范围内的测试。该方法的主要缺点是在低频段进行测试时需要耗费大量时间,极大地限制了其在现场的应用。该文以多频正弦波代替传统的标准正弦波作为电压激励,研究该激励波形参数的优化方法,通过傅里叶分析,对多频正弦激励下的单频分量进行分离,进而计算得到各谐波频率下油纸绝缘的复电容、介质损耗等参数,在保证测试精度的前提下实现缩短频域介电谱测试时间的目的。基于该方法,采用自制的测试硬件及分析系统,对油浸绝缘纸板以及高压试验变压器在0.1 m Hz~1 k Hz范围内进行频域介电谱测试,并与Megger公司的IDAX-300测试结果进行对比。结果表明:两种方法测试结果能够很好地吻合,相对误差不超过1%;采用优化后的多频正弦激励测试方法仅耗时2.9 h,相比于采用扫频方式的IDAX-300,相同测试条件下节省测试时间8 h。 相似文献
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手机产品从以往的单纯语音通信与文字简讯功能,迈入多应用的数据功能时代后,手机厂商已经无法再像过去一样仅以品牌形象或独特外观设计,便能轻易掳获消费者的青睐。 相似文献
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某大型商业开发工程在塔楼间设置非对称且偏心的多层连体结构,使原本规则的单塔结构形成复杂多塔连体结构。为减轻地震作用时连体与塔楼共同振动导致塔楼地震力和扭转变形加大的不利影响,连体与塔楼间采用铅芯叠层橡胶隔震支座进行连接。采用两种程序进行小震弹性反应谱和地震波时程分析,通过比较单塔工况和多塔连体工况的楼层剪力和层间位移角来研究该结构的抗震性能。研究结果表明,由于铅芯叠层橡胶隔震支座的采用,多塔连体工况时各塔楼和连体结构的振动状态趋向于独立振动,相互影响程度小,且多塔连体工况时塔楼的地震响应比单塔工况时要小,减小幅度约为65%~95%,能较好地减轻塔楼在地震作用下的响应。 相似文献
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随着基于电力电子变换器的电力装备在电力系统中渗透率的不断提高,并网变换器对系统的动态特性和稳定性的影响不断增强。电网阻抗同时影响跟网变换器的电流暂态和锁相环暂态,对跟网变换器的同步暂态响应以及变换器并网系统的同步稳定性有着复杂的影响。文章在考虑锁相环暂态和电流暂态的同时,研究电网阻抗比对跟网变换器同步稳定性的影响机理。首先建立考虑电网电阻和电流暂态的跟网变换器并网系统四阶同步稳定模型,接着提出故障瞬间锁相环频率偏差和电流变化量估计方法,分析电网阻抗比对频率暂态和电流暂态的影响规律。最后,通过Matlab/Simulink仿真,验证理论分析的正确性。 相似文献