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(Ti,A1)N镀层的结构及氧化行为 总被引:5,自引:0,他引:5
介绍了一种新型防护镀层——(Ti,A1)N镀层.镀层中铝含量对薄膜的化学成分、微观结构(相组成,结构取向,致密性等)、力学性能及抗氧化性能的影响明显.综合(ti1-xAl,)N薄膜的力学性能和抗氧化性能得出,铝含量大于25%时,可得到性能较优的薄膜. 相似文献
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