微透镜列阵的离子束刻蚀及衍射效率测量

采用Kaufman离子刻蚀微透镜列阵并采用实时检测系统对刻蚀深度进行了控制.提出了测量微透镜列阵衍射效率的一种方法,对测量误差进行了讨论.     

离子束刻蚀计量光栅的衍射现象

介绍了计量光栅经离子束刻蚀后的衍射现象,实测了刻蚀表面的形貌特征,还对这种衍射现象进行了讨论。     

锯齿形螺纹三线测量的精确计算

锯齿形螺纹是一种牙形不对称的螺纹。按JB923—66规定,一般用途的锯齿形螺纹的牙形斜角α_1和β分别为30°和3°(图1)。由于牙形的不对称,锯齿形螺纹的中径不能用万工显或大工显直接测量,在生产中只能用螺纹三线间接地加以控制。锯齿形螺纹三线测量的理论M值一般用下述近似公式计算式中,d_2为螺纹中径,dp为量棒直径,P为螺距,α=α_1 β为牙形角。该近似公式是在不考虑螺纹导程角的条件下导出的,对于导程角较大的螺纹,其计算误差往往达到不能容许的程度。以S22×8/2双头锯齿形螺纹为例,