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分步重复缩小投影曝光技术是一种采用现有的光学镜头,通过“分而治之”,达到以较细线条覆盖较大面积的手段.本文介绍采用这项技术制作出的几种SAW高频器件掩模,用它刻出的器件,获得了良好的性能.  相似文献   
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