连续与脉冲激光诱导气相反应制备超细粉

用连续以及脉冲的CO2激光诱导三甲基氯硅烷的气相化学反应，制备SiC超细粉．脉冲激光以及高的激光功率密度有助于减少副反应，得到高纯度、圆形、粒度小而均匀，疏松不团聚的超细粉。