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无线电
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1991年
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1
1.
国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
孙殿照
孔梅影
韩汝水
朱世荣
阎春辉
国红熙
付首清
周增圻
张晓秋
黄运衡
谢琪
刘世闯
雷震林
张利强
余文斌
乔金梁
《微纳电子技术》
1991,(6)
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
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