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针对退火工艺能够改善ZnO薄膜晶体管性能及稳定性的问题,研究了ZnO-TFT真空退火设备。介绍了该设备的结构特征、电控系统及达到的指标。设备研发后对ZnO-TFT器件进行真空退火工艺处理,退火工艺提升了ZnO-TFT器件电学性能和偏压稳定性,设备达到满足工艺要求的效果。 相似文献
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镁合金材料广泛应用于制作电子产品的壳体。ZRL-005型真空熔炼炉是镁合金熔炼和甩带的一体化设备。主要用于对镁合金等材料的高频感应加热熔化和喷气甩带。介绍了ZRL-005真空熔炼炉的技术指标、工作原理和结构特征,并详细分析了控制系统的硬件及软件设计。 相似文献
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介绍了真空气淬炉的主要结构部件,分析了影响设备安全性的炉壳、炉门及齿圈的结构组成。由于真空气淬炉在正压和负压反复交替使用的特殊性,为了保证设备使用的安全性同时实现设备的经济性,对炉壳和齿圈通过计算法、查图法进行理论计算,并采用有限元分析法对结构进行安全性分析。通过力学模型对设计结构中的薄弱环节进行结构优化,达到结构安全性的要求。 相似文献
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