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FFU的核心参数在实际中的选择和应用。  相似文献   
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本文分析了集成电路制厂的噪声来源,阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施  相似文献   
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分析国内FFU的结构形式,讨论不同形式FFU的安装。  相似文献   
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制药洁净厂房的净化空调设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
结合工程实例和工艺要求重点介绍制药洁净厂房的空调系统的设计,设备选型,运行控制要求及真空清扫系统等。  相似文献   
5.
半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程,分析洁净室洁净度维护系统中,日常管理容易出现纰漏的情况,找到预防这些纰漏的原因,并在实际管理过程中去避免这些纰漏。  相似文献   
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