利用合适的相干因子提高光刻仿真准确性(英文)

利用光刻仿真软件PROLITH,进行了掩模版空间成像的焦深(DOF)和光学临近效应的 仿真。理论上分析了照明光瞳相干因子定义法:10％能量法和10％-90％积分能量法,并发展了因 子矫正法。仿真中分别代入了这三种定义法得到的照明光瞳相干因子,通过比较这三种情况与代 入真实光瞳的仿真结果,发现利用因子矫正法定义真实照明光瞳的相干因子,比其它两种定义法 得到的仿真结果与真实结果最接近,从而提高了仿真的准确性。     

GaxIn1-xAs/GaInAsP应变量子阱结构能带的计算

对含有Luttinger-Kohn哈密顿量的有效质量方程，利用S.L.Chuang提出的传递矩阵法，计算了量子阱中不同Ga组分的GaxIn1-xAs/GaInAsP应变量子阱结构的能带，该结构可被选作980nm光通信泵浦激光器的有源层，研究还得到了GaxIn1-xAs/GaInAsP双应变量子阱结构中电子和空穴的能级以及能级的色散关系。     

长波长半导体激光器波导层设计

研究了一种新型的，基于金属，半导体界面等离子体激元的波导结构，从理论上对激射波长在17μm的CaAs-AICaAs量子级联激光器的波导层设计进行了讨论，分别研究了传统的递变低折射率波导设计和等离子体激元波导设计。结果表明，利用表面等离子体激元进行波导设计，可以降低波导层厚度和提高光场限制因子，从而为长波段(如太赫兹频段)激光器提供了一种有效的波导设计方法。