真空的器壁过程

在真空技术中气体分子在容器中的运动大致有图1.1所示的图象①。 真空科学的理论涉及到气体分子运动的空间过程和器壁过程二大方面。当分子平均自由程大于容器的线性尺寸时(分子流状态)分子与器壁之间的碰撞占据主要地位,因此随着超高真空技术的发展,研究真空的器壁过程显得日益重要。 主要的器壁过程有:相变,表面吸附,深部溶解和扩散。第一章真空中的相变过程 1.1相平衡和转变 的基本概念物质通常有三种不同的状态,即:气态,液态和固态。它们依据一定条件而相互转化。例如;在一个大气压下水(液态)在100℃可以沸腾变成水蒸汽(汽态),在0℃ 可…     

金属片高温出气

本文叙述了测量高温出气的实验设备和技术。给出了一些板片状金属材料700℃、900℃出气的实验结果。结果表明,烧氢、真空热去气后表面轻度氧化,可使材料重暴大气时不再回吸气体,某些材料在高温出气的后期有吸气现象,去气后的材料严禁手摸,否则含气量可以复原。本文初步探讨了高温出气机理,认为金属片材的出气源,主要是界面层。     

硅橡胶真空性能的原位检测

用一台材料稳定性原位检测设备检测硅橡胶的真空性能。该设备配有６０千电子伏电子枪，可作有、无电子辐照条件下材料稳定性的原位比较。用一架轴型真空微量天平连续测试材料的重量损失。损失的成分用回旋质谱计进行分析。 对在真空中有、无电子辐照，原、异位电子辐照的测试结果进行了比较和分析。     

镍片的真空、高温除气的表面层分析

一、前言在真空、高温下,金属材料会产生蒸发、再结晶、表面化学反应、溶质扩散以及某些元的偏析等效应。此外,既使在高真空条件下,也排除不了氧和碳的污染。从而使样品状态发生变化。本文报告了在真空中经过900℃高温除气前后的镍片,用俄歇谱仪、扫描电镜、金相显微镜考察的结果。研究了表面层状态对高温除气的影响。     

材料高温出气与电真空器件的寿命

本文首先评述了残余气体的量和质对电真空器件性能和寿命的影响。根据电真空器件是静态真空件的特点,指出降低气源的重要性。 分析了:漏、渗透、出气表面化学反应各种气源因素并做了数字比较。认为出气是最根本、最首要的。 说明了电真空器件的出气主要应考虑高温出气。介绍了目前国内外高温出气研究中选择的物理参量,加温方式,出气机制中的问题,以及如何把高温出气数据运用在电真空器件上。 一、残余气体对电真空器件的影响 电子管属于静态真空器件(如果不计吸气剂的作用)。 近年来栅控管、微波管、电子束管、光电器件等几个大类均已发展到…     

溅射镀成膜速率的研究

真空溅射镀与蒸发镀相比,膜层较牢固、致密,但成膜速率较低。如何提高成膜速率,已成为改进溅射镀工艺的主要方向。由于溅射镀的机理比较复杂,难以确定的因素较多,因而成膜速率的理论估算有困难。本工作详细研究了靶材的迁移过程,得到成膜速率的计算公式,与实验结果符合。该公式所反映的参量关系,有可能对提高成膜速率提供较清晰的途径。     

论材料高温出气与电真空器件寿命的关系

本文首先评述了残余气体的量和质对电真空器件性能和寿命的影响,根据电真空器件是静态真空器件的特点,指出降低气源是改进残余气体的重要途径。分析了漏、渗透、出气、表面化学反应各种气源因素,并做了数字比较。认为出气是最根本、最首要的。文中概述了对于电真空器件主要应考虑高温出气。介绍了目前国内外高温出气研究中选择的物理参量、加温方式,出气机理中的问题,以及如何把高温出气数据运用在电真空器件中。     

一种估算酯类真空泵油蒸汽压的方法

提出了一个估算酯类真空泵油蒸汽压的半径验公式，并与实验数据进行了比较。认为估算的可靠性不比实验测试结果差。可供选用及研制酯类油时参考。