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双道X射线分光光谱仪及其与扫描电子显微镜的匹配 总被引:2,自引:0,他引:2
本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B~5(Be~4)~U~(92);波长分辨率△λ/λ为1~5×10~(-3)(Na~(11)~U~(92))及1~5×10~(-2)(B~5~F~9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na~(11)~U~(92)为10~(-3)%量级,B~5~F~9为10~(-2)%量级。 相似文献
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