微波等离子体法沉积镍膜的研究

采用微波等离子镀膜机制备镍薄膜.该方法的特点是用纯金属镍为靶,用微波产生等离子体,用交流电源作为轰击电源,远程输运.使用XRD、SEM、EDS对采用微波等离子法沉积的薄膜进行表征,对实验结果进行分析,并对镀膜工艺进行了初步探索.     

ICP发射光谱法测定高纯氧化钇中的微量杂质

本文提出了一个ICP-AES法直接测定高纯氧化钇中的非稀土元素的快速、准确、灵敏度高、工作曲线线性动态范围大的分析方法。