低温离子硫化技术在汽车后桥差速器上的应用

国内一家汽车制造商出口国外的矿用自卸汽车没有行驶多长时间，就出现了后桥差速器齿轮大面积点蚀和剥落，而且这类零件主要失效部位都在其工作表面。     

空心阴极离子淀积TiN薄膜特性研究

本文用空心阴极离子淀积系统,在氮和氩的混合气体中淀积了TiN薄膜.X射线衍射方法、俄歇电子谱(AES)和电学测量等方法用来研究分析了TiN薄膜的结构、组分和薄膜电阻率.该TiN薄膜有很低的电阻率,其电阻率约为25μΩcm.Al/TiN/Si金属化系统经550℃、30分钟热退火后,卢瑟富背散射(RBS)分析结果表明,没有发现互扩散现象,说明TiN在硅集成电路中是一种良好的扩散势垒材料.