集成电路 流量传感器

木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技 术? 理论和实验结果表明, 这种传感器具有很高的灵敏度, 特别适合于液体小流量的测量     

CMOS集成硅流量传感器

本文介绍了一种流量传感器新的工作原理:当流体流过加热的芯片时,为保持芯片温度恒定所需功耗的改变,可以用来作为流体速度的量度。本文用CMOS工艺首次实现了这种原理的集成流量传感器。该传感器结构简单、尺寸小(1×1.9mm),灵敏度高(在芯片温度55℃、流体温度30℃、流速50cm/s时,输出达80mW)。     

MOS反型层中迁移率的测试技术

本文提出了三种测量半导体表面迁移率的方法:(1)直流电导法;(2)交流电导法;(3)跨导法.并测量了半导体表面迁移率与栅压的依赖关系.     

多功能集成传感器中多晶硅桥的研究

本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设计灵活,为解决传感器的集成化、多功能化,实现微机械加工技术提供了有效的途径。水文介绍了主要工作原理,给出了多晶硅桥制造的工艺条件,理论分析与实验结果一致。     

全兼容气体流量传感器

本文介绍了采用作者提出的新型CCT工作原理而研制成功的集成CMOS流量传感器.这种传感器采用常规CMOS工艺制备而不需要任何附加工艺步骤.为了提高传感器的稳定性,其电路结构作了进一步改进.该传感器采用单个5伏电源,其输出信号可与A/D及微处理器自然接口.芯片尺寸为1×1.9mm~2,灵敏度高达70mV(T_(芯片)=27℃,T_(液体)=19℃,流速40cm/s),响应时间为40秒(流速为24cm/s时).在CMOS运算放大器(A)设计中,采用二级偏置电路以满足偏压要求并具有极好的温度性能.文中对CMOS运算放大器的设计作了较细致的讨论.     

新型恒温式集成温度传感器

<正> 一、引言 把敏感元件与信号处理电路集成在一起,实现传感器的集成化,是目前传感器发展的一个重要方向。它不仅可提高传感器的信噪比,还可以提高传感器的性能和接口灵活性。对于集成温度传感器,由于芯片上的信号处理电路与敏感元件必须一起工作在被测环境温度中,这样环境温度的变化会影响传感器中信号处理电路的性能,从而影响整个集成传感器的性能。本文提出一种工作在恒定芯片温度的新型集成温度传感器,其中的信号处理电路不受环境温度的影响,而且还具有传统温度传感器所没有的优点。     

硅静电和准静电微马达的研制

本文介绍的静电可变电容型和准静电感应型两种马达的转子直径均为16μm.研制出了槽宽为4μm、槽深为0.3μm的泵入式螺旋槽微止推空气轴承,以减小摩擦力.