横向电压型压力传感器的磁敏性及其消除法

横向电压型压力传感器的几何形状与霍尔器件相同因此也存在有磁敏性.本文用弱场近似的统计理论导出了非均匀掺杂薄层的霍尔电势表式,理论计算与实验结果相当一致.最后,介绍了一种实际上能完全消除磁场对压力传感器影响的方法,得到了很好的结果.     

横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应

本文报道了制作在(001)硅长方膜中心区域的二组共十种几何设计的横向电压型压力传感器的灵敏度测试分析结果.得到了电源电极短路效应和输出电极短路效应引起的灵敏度几何因子与器件尺寸的关系.实验结果与数值分析所得的结果相当符合.这些结果为横向电压型压力传感器几何图形的设计提供了有用的准则.