薄膜硅太阳能电池DEZn输送系统

正目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅(a-Si/μc-Si)叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO),然后再通过PECVD方法沉积p型、i型和n型薄膜,最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法     

电子级特种气体输送系统质量控制

主要介绍应用在半导体行业电子级特种气体输送系统质量控制的要点及其涉及到的检测仪器的工作原理，结合目前行业内气体输送系统质量控制的方法做概括性介绍。     

不锈钢表面CVD渗硅防腐及应用

介绍了一种不锈钢表面化学气相沉积渗硅工艺。对处理前后样品在6mol/L盐酸中的腐蚀性进行了实验对比研究,并介绍了使用该工艺处理的不锈钢容器应用于盛装强腐蚀性高纯电子级三氯氧磷的优良性能。     

新型三氯氧磷集中安全供应系统

介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置.该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能.同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制.     

光纤预制棒制造用精密流体输送系统的设计

光纤预制棒产品的稳定性一直是预制棒生产商关注的焦点。将SiCl4和GeCl4这两种在整个预制棒制造过程中十分关键的原料精确、稳定地输送到沉积炉内参与反应是确保光纤预制棒质量优良的关键。从流体输送的基本概念及控制点详细阐述了用于光纤预制棒生产的精密流体输送系统的设计。