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为研究在低温衬底上沉积磷掺杂ZnO薄膜的性质,从室温到350℃的范围内磷掺杂的ZnO被磁控溅射到蓝宝石衬底上.样品的XRD谱显示薄膜为＜001＞方向择优生长,ZnO(002)面的衍射峰在250℃时最低.原子力图像分析显示:薄膜的表面形貌随沉积温度而变化,粗糙度随温度升高而增加.样品的XPS谱在134eV附近清晰地观测到... 相似文献
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