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1.
磁控溅射基片低温冷却法制备NiOx纳米微晶薄膜
王怀义
刁训刚
王武育
杨海刚
丁破
郝维昌
王天民
《功能材料》
2008,39(10)
利用自行设计的基片液氮低温冷却装置,用金属Ni靶在Ar O2气氛反应条件下,利用磁控溅射制备纳米微晶结构NiOx膜的方法,薄膜的XRD谱和扫描电子显微图像(SEM)表明,该方法实现了在溅射参数完全相同的条件,纳米NiOx薄膜结构连续可控、可调节.
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