几种热阴极电离真空计电参数校准及分析

通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的ZJ-27,ZJ-12,ZJ-10,ZJ-2等四种热阴极电离真空计进行电参数校准。通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法校准热阴极电离真空计电参数的可行性。     

正压漏孔校准装置性能研究

正压标准漏孔是在泄漏检测中提供参考气体流量,用于正压标定检漏系统或确定泄漏量大小的参考标准。随着氦质谱检漏仪吸枪法的广泛应用,对正压检漏法的定量性提出了更高的要求,对正压标准漏孔漏率量值的精确校准日益迫切。文章研究了采用定容法和定量气体法建立的正压漏孔校准装置,通过对该装置性能进行深入研究,为量值准确传递和正压漏孔的精确校准提供理论及技术依据。     

固定流导法真空漏孔校准装置性能研究

固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定。     

压阻式真空传感器校准技术研究

随着科学技术的发展,各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用,日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对压阻式真空传感器使用原理的分析,采用比较法真空校准装置,获得真空变量与测量输出信号问的函数关系,对照测量误差是否在准确度等级范围内,准确判断测量结果与被测量真值的一致程度,解决该类型真空传感器的测量和校准问题。