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1.前言 1953年西德波恩大学的保尔(Paul)教授～[1]发表了四极滤质器,其后根据他们的研究开辟了实际应用～[2]的道路。1960年开始商品化以来,得到迅速的发展,现在占据了残余气体分析市场的大部分,又由于这个滤质器所具有的独特的性质以及装置不断在改进,其应用范围一直不断在扩大。 因为滤质器在动态质谱计中也是相当复杂的仪器,理解其工作原理是非常不易的,此外关于和磁偏转质谱计的优缺点的比较,也没有看见在以前的报告里有充分讨论。鉴于这样的现状,本报告包含了近年来的发展,为了现在使用滤质器的人或有兴趣的人,试着把滤质器从原理到应… 相似文献
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4.装置 4.1 离子源 如式所示,入射滤质器离子的能量分散容许有相当大的另散,因此无需考虑电离室内电位的均匀性。适用于残余气体分析的开放式的电离室正在普及。最近,图16那样的与B—A计构造相同的离子源已实际应用[14、15]。这个离子源由于电子在栅网状的电离室内外往返运动,电子的行程延长能增加离子的产生。在这个离子源里如果放射电流增多,由于电子的空间电荷的影响电离室内电位变得不均匀,然而几乎不影响滤质器的特性,所以能够增加放射电流来增加灵敏度。通常用1mA～5mA的放射电流工作,也有用50mA工作得到高灵敏度的[16]。为了避免… 相似文献
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