环境扫描电镜中电荷环境的测量

在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP)。ISP值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境。法拉第杯的ISP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的ISP反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境。由ISP值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用。     

扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用

观察非导电样品在扫描电镜（SEM）中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件，监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明，当Es达到7kV～9kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ≌1，Es≌4kV，及Ia≌0时，形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2，以及评价非导电样品导电性能。     

HBS系统的节能管理

本文以利达公司HBS系统为例,说明其节能管理。节能是HBS系统最重要的控制目标和功能。各类公共建筑能耗分析中(本刊2006年第6期第26页),中央空调系统和照明系统能耗占建筑能耗的绝大部分,所以中央空调系统和照明系统是HBS系统节能的重点。要实现中央空调系统的节能,首先应设计合理,从2005年7月1日开始实施的《公共建筑节能设计标准》为各类公共建筑的节能设计提供了完善合理的节能设计标准。从该标准中可以发现,空调系统的节能设计可以分为两方面,一方面是减少空调建筑的热负荷的节能设计,另一方面是提高中央空调系统运行效率的节能标准…     

采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境

采用环境扫描电镜（ESEM），非导体及含水样品不经过表面喷金或喷碳处理就能直接观察。在ESEM样品室中，电子-离子-样品相互作用，构成了一个复杂的动态电荷环境：入射电子（PE），二次电子（SE）、背散射电子（BSE）受到气体的散射作用；气体分子被PE、SE、BSE电离产生正离子流向样品表面运动，并与电子中和；离子场对SE的场助发射作用等。因此测量及评价ESEM的电荷环境，可为消除荷电效应，或利用荷电效应成像提供依据。     

氧化铝的加热荷电补偿研究

在环境扫描电镜(ESEM)中配置加热台,对Al2O3样品进行加热实验.结果表明,Al2O3表面的荷电效应随温度的稳定升高而逐渐减小.当温度上升至～360 ℃时,荷电效应完全消除,得到清晰的二次电子(SE)像.在加热过程中,Al2O3样品的吸收电流(Ia)值不断提高,在～360 ℃时达到2.67×10-7 A.这个值相当于Al样品台的Ia值,表明加热可增加Al2O3表面的导电率.此外,在高真空环境中通过加热消除荷电后,得到的Al2O3样品的SE像衬度优于通常在低真空环境中通过电子-离子中和作用得到的图像衬度.     

采用同步辐射源X射线衍射技术原位观测VLSI铝互连线的应力

为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化.沉积态的Al互连线在室温下为拉应力.退火过程使拉应力逐渐减小,在300~350℃过程中由拉应力转为压应力.在电流密度为(3×10⁵~4×10⁶) A/cm²,275min的电徙动实验过程中,Al互连线阳极端由拉应力转变为压应力,并随后随着电流密度的增加而增加.此外,采用扫描电镜(SEM)观察了Al互连线的电迁徙失效特征及应力释放过程.     

公共建筑节能技术和HBS系统应用分析报告

1公共建筑节能1.1公共建筑能耗现状随着经济的发展,我国公共建筑越来越多。以北京和上海两市为例,据统计北京市至2004年有各类大型公共建筑约500幢,大型公共建筑总建筑面积为2070万m2,全年总用电量33亿kWh,与全市近一半居民的生活用电总量相当。北京市商场、宾馆、写字楼的全年     

ZnO纳米线原位生长的ESEM方法

以环境扫描电镜(ESEM)为基础,配置氧气微注入系统及加热台附件,作为ZnO纳米线生长的微型实验室。实验结果表明,纯Zn片在环境压力为1×10-2Pa和300℃的环境条件下,可原位反应生成直径几十纳米的、较均匀的ZnO纳米线。