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在过去的 15～ 2 0年中 ,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前 ,一般的镀膜机都是纯人工操作 ,最先进的也只是半自动控制 ,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在 ,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块 (子系统 )的全自动系统。这些智能模块 (子系统 )通常在多个微处理器的指令下结成局域网 (LAN) ,而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高 ,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时 ,还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件 ,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行 ,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段 ,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。 相似文献
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在过去的15-20年中，光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前，一般的镀膜机都是纯人工操作，最先进的也只是半自动控制，都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在，高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块(子系统)的全自动系统。这些智能模块(子系统)通常在多个微处理器的指令下结成局域网(LAN)，而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高，现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时，还要求厂家提供相关工艺技术。本探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件，以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行，但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段，因此本中的讨论只涉及物理蒸镀技术。 相似文献
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