工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响

针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型.通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数.利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因.最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利.     

基于MATLAB的凸轮机构运动分析

介绍了利用MATLAB语言来求解凸轮机构的运动规律，并且使其结果可视化。从而使机构的运动分析直观、简单和精确，大大提高凸轮机构的设计精度和效率。     

基于微机平台的注塑模型腔CAD/CAM一体化的实现

本文分析了注塑模型腔CAD／CAM实践中具体的曲线曲面造型处理方法，讨论了CAD／CAM实现中的各项关键技术，并成功地在微机系统上实现了注塑模型腔CAD／CAM的一体化。     

接近式光刻机间隙分离机构设计

为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构.该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成.采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力.试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要.     

振动分析技术在空调送风机故障诊断中的应用

1996年4月,我们用902机器分析仪/数据采集器测试了许昌卷烟厂“七五”、“八五”两条线的制丝设备、卷接包设备及通用设备上某些关键部位共228个测点,结合日常点检工作,取得了较好的效果,至1996年11月共发现3台SUPER9机组的大风机和膨化塔风机、卧打风机、七五卷接的接装风机及冷却电机等故障。下面所述空调风机的故障诊断为其中突出一例。 空调器是保证卷接包车间工作环境温度和湿度的关键设备,因为空调器室内负压非常大,加上内部潮湿、黑暗,所以,安全规程规定设备运行时,人员不得入内。1996年7月份,“七五”空调室隔壁的包装车间一台大修设备正处于调试阶段,已近两个月未能交验,原因是设备的水平调好不久就发生变动,致     

浅谈卷烟企业备件需求计划管理

结合公司多年来的备件管理特点,通过对传统备件计划管理进行优化和实践,总结了一套较完整的备件需求计划管理方法和技术保障措施,能提高库存周转率,逐步降低库存资金占用量,可有效地避免不良库存的再发生,消耗呆滞库存,改善库存结构。     

衍射光学元件在无掩模光刻中的应用

描述了波带片/多孔透镜阵列无掩模光刻方法,着重介绍了波带片的几何结构特点和衍射聚焦特性,研究了影响光刻分辨率的因素和使用位相型波带片代替振幅型波带片提高衍射效率的设计方法,讨论了高级衍射焦点对波带片的光刻对比度的影响及消除措施,表明了波带片光刻有光刻对比度和高光刻分辨率受限于最小结构尺寸两个技术难点。对比介绍了多孔透镜的结构和衍射聚焦原理,论述了利用多孔透镜抑制高级衍射焦点和焦平面上次级大的特性,可以提高光刻对比度、提高光刻分辨率、克服波带片受限于最小结构尺寸的缺点。     

掩模移动曝光系统精密定位工件台研制

为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成.利用一个方导轨和两对V形导轨组成的滚动导轨副实现了x向和y向精密移动的导向功能;利用驱动器、电机、光栅、细分卡、单片机构成的闭环控制系统保证了x和y向的运动精度;在气浮的作用下,利用掩模版靠平基片实现了调平功能;利用差动螺旋机构和1∶2杠杆缩小机构实现了间隙的调整功能.经检测,工件台在8 mm的工作行程范围内,沿x,y方向移动的直线性分别达到了4"和3",两个方向的正交性达到了10",运动定位精度达到了1.2 μm.     

下一代光刻技术

介绍了下一代光刻技术的演变,重点描述了浸没式光刻技术、极端远紫外光刻技术、纳米压印光刻技术和无掩模光刻技术的基本原理、技术优势、技术难点以及研发,并展望了这几种光刻技术的前景。     

基于MATLAB的平面应力问题研究

MATLAB是MathWorks公司推出的功能强大的编程语言,利用它的工具箱能够解决许多复杂的计算问题。介绍了在MATLAB提供的PDE toolbox上直接使用图形用户界面GUI,提供了一个求解平面应力问题的简便方法,从而使复杂的平面应力求解变得简单、精确和可视化,大大地提高了工作效率。