俄歇电子能谱数据采集和处理

本文介绍了微型计算机与俄歇电子能谱仪的接口软硬件及在微机控制下得到的铜样品的俄歇电子能谱,讨论了一次束流、调制电压等实验参数对谱图质量的影响,并总结出最佳实验条件。文中还着重研究了平均法、光滑样条法、积分、微分、卷积及去卷积等数值方法在谱线平滑化、本底扣除和峰形恢复等方面的作用,并建立了一整套俄歇谱线数据处理的算法及程序。作为一个实例,文中还介绍了实测铜峰的峰形恢复过程及结果。     

亚微米聚焦离子束的漂移现象

研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴上的必要性。所给出的漂移数据既包含早期曾研制的单级透镜FIB系统的数据，也包含近期研制的二级透镜可变束流FIB系统的数据。     

束流可调的二级透镜亚微米聚焦离子束枪的设计计算和调测结果

介绍了最新设计的二级透镜聚焦离子束系统，该系统具有高速消隐、束径束流电可调等特征。给出了该系统的设计计算和调测结果。在束能15keV、束流30pA时，束径达到0．1μm。     

单级透镜聚焦离子束系统的研究

建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束（ＦＩＢ）系统。该系统采用优越的Ｃａ￣＋液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和单级Ｏ－Ｓ透镜，在束能为２０ｋｅＶ、束流为３００ｐＡ时，束径达到０．３μｍ。改进了束斑的测量方法。研究了影响束斑的各种因素。该系统既可用来作为扫描离子显微镜，又可作为亚微米加工工具。文中给出了在该系统上得到的样品显微图像和刻蚀图形的结果。     

亚微米聚焦离子束的漂移现象

研究李亚微米聚离子束（ＦＩＢ）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施，发现了偏转电极上的钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起民漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴的必要性。所给出的数据漂移数据既包含早期的单组透镜ＦＩＢ系统的数据，也包     

薄膜电容真空计电源的研究

介绍了利用交流电桥和相敏检波（PSD）原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能，对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究，在8h内测量，电容差值的漂移可小至10－3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计，可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明，这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa，覆盖五个数量级的真空度测量。     

亚微米聚焦离子束数字图像系统

介绍我们研制的亚微米聚焦离子束装置的数字图像系统。它采用数字存贮技术,离子束在样品观察区扫描一次即可获得稳定清晰的图像,大大降低了离子束对样品的辐射损伤。它具有操作灵活、图像处理等多项功能。本系统是聚焦离子束装置必不可少的部分,亦可推广应用于其它各种扫描成像的设备中。     

新型小飞行时间质谱计的研究

根据对分压强质谱计需求的迅速增长和飞行时间质谱计的新发展，研制了一种新型小飞行时间质谱计。在质谱计管的长度仅为25cm，质量范围可达1～1800原子质量单位时，对28N2 和129Xe 的实测质量分辨本领（m／△m）50%H分别优于200和300。可以预期，一种具有更高性能价格比的新型分压强质谱计将会沿此方向继续发展。