二氯二氢硅的气相色谱法分析

叙述了采用普通色谱仪完成极易水解的电子级二氯二氢硅的全组份在线检测和产品质量分析的方法。自行设计安装了一套真空取样装置,解决了对易水解、有毒、不能接触空气等杆品取样的难点,避免了样品对仪器的腐蚀,提高了仪器的使用寿命;在较好的色谱条件下,获得了满意的结果。该法简便、可靠、灵敏度和准确度均可满足对纯度为97％的电子级二氯二氢硅产品分析的要求。